執(zhí)行機(jī)構(gòu)的驅(qū)動方式不外乎是氣動、電動、液動這三種。這三種方式驅(qū)動的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，在工作性能、造價、使用方便性等方面各有優(yōu)點，適用于不同的工作場合。
   氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)更大的特點是安全性高，在三種執(zhí)行機(jī)構(gòu)里，氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)是非常具防火、防爆優(yōu)勢的，適合應(yīng)用于石化、石油、油品加工等行業(yè)。除了防爆性能以外，氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)的優(yōu)點還在于，它的性價比較好、使用簡單方便、易于維護(hù)，對人員技術(shù)要求相對較低。氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)的缺點在于它的控制精度低，不能和電動、液動執(zhí)行機(jī)構(gòu)相比。這是源于氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)的壓縮氣體驅(qū)動方式，氣體的易壓縮性，使得氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)缺乏足夠的抗偏移性能，因此在控制精度方面缺少競爭力。
   電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)近年來的使用率越來越高，特別是在高壓水系統(tǒng)中，電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)表現(xiàn)出其他兩種執(zhí)行機(jī)構(gòu)所不具備的優(yōu)點。電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)的輸出推力大、穩(wěn)定性高，但同時造價又低于液動執(zhí)行器，是高性價比的選擇。電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)的參數(shù)控制非常精準(zhǔn)，但是它的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，故障率要高于氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)，需要有較高技術(shù)水平的專業(yè)人員操作并維護(hù)。電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)接收的是電信號，容易出現(xiàn)打火的問題，安全性上就要遜色于其他兩種執(zhí)行機(jī)構(gòu)。
   液動執(zhí)行機(jī)構(gòu)的性能優(yōu)點很多，輸出推力大、抗偏移性好、控制精確、響應(yīng)速度快、運行穩(wěn)定等。液動執(zhí)行機(jī)構(gòu)是以液體驅(qū)動，液體有不可壓縮的特性，這賦予了液動執(zhí)行機(jī)構(gòu)很好的抗偏移能力，調(diào)節(jié)非常穩(wěn)定。液動執(zhí)行器的缺點是造價高昂，要運行液動執(zhí)行器需要配備液壓站和輸油管路，這要求很大的初期投資。液動執(zhí)行器的體積也比較大、顯得比較笨重，因此只有大型的、特殊的工程才會專門建造并使用液動執(zhí)行機(jī)構(gòu)。